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科磊(KLA)半導體設備氣動隔振系統的頻率

來源:上海松夏減震器有限公司????發布時間:2023-05-16 10:11

 
對于科磊(KLA)半導體設備氣動隔振系統和許多儀器和科學研究實驗,特別是一些涉及高精度位置檢測和微力檢測的儀器,地球脈動噪聲和環境噪聲一直是影響其性能和結果的主要因素,因此氣動隔振系統起著重要作用。扭轉秤系統通常用于驗證等效性原理或測量萬有引力常數,地面振動噪聲會對測量結果產生很大影響;在評估加速度計的基本噪聲時,還需要隔離地面的振動噪聲;引力波探測器的臂長約為4km邁克耳孫干涉儀組成,對環境噪聲敏感,需要性能好的隔振系統提供理想的慣性參考點;在重力測量中,經典的自由落體重力儀和原子干涉重力儀都需要隔振系統。
地面振動噪聲的來源和強度與時間、基礎和周圍環境密切相關,頻率為0.5Hz上述噪聲來源主要是周圍環境的噪聲,如建筑物、樹木的晃動和人類活動。頻率在0.05~0.5Hz噪聲一般稱為地球脈動噪聲,主要來源是海浪撞擊海岸時在地殼中產生的表面波和體波,0.06~0.09Hz噪聲是沖擊產生的基頻,0.12~0.16Hz二次諧波的噪聲幅值往往大于基頻幅值。因此,為了有效隔離地球脈動噪聲和周圍環境振動噪聲,氣動隔振系統的本征頻率須至少為0.05Hz,一般浮動光學平臺或傳統隔振平臺難以滿足需求。
科磊(KLA)半導體設備氣動隔振系統實現超低頻隔振的方法主要有兩種。一是利用低頻加速度計等傳感器反饋控制超低本征頻率,稱為主動隔振;二是超低本征頻率不采用反饋控制,稱為被動隔振。兩者都可以等效為彈簧振子系統。由于超低頻水平隔振的彈簧不需要平衡振子的重力,因此水平隔振系統比垂直隔振系統更容易實現。
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